4月1日，上海科(kē)创基金子基金华登三期及聚源聚芯被投企业——合肥芯碁微電(diàn)子装备股份有(yǒu)限公司在科(kē)创板正式挂牌上市（股票代码：688630），上海科(kē)创基金投资组合中上市公司数量增至24家，其中科(kē)创板14家。

芯碁微装是光刻技术领域里拥有(yǒu)关键核心技术的PCB直接成像设备及泛半导體(tǐ)直写光刻设备的國(guó)产供应商(shāng)之一，在微纳直写光刻核心技术领域具有(yǒu)丰富的技术积累，在系统集成技术、光刻紫外光學(xué)及光源技术、高精度高速实时自动对焦技术、高精度高速对准多(duō)层套刻技术、高精度多(duō)轴高速大行程精密驱动控制技术、高可(kě)靠高稳定性及ECC技术、高速实时高精度图形处理(lǐ)技术和智能(néng)生产平台制造技术等前沿科(kē)技领域，拥有(yǒu)技术优势。芯碁微装坚持自主研发与创新(xīn)，拥有(yǒu)完整的自主知识产权。凭借团队领先的研发水平，获得71项技术专利，并获批建立了 “外國(guó)专家工作室”和“第十批省级博士后科(kē)研工作站”。

上海科(kē)创基金是根据上海市委、市政府部署要求，由上海國(guó)际集团牵头，于2017年发起设立的以服務(wù)上海科(kē)创中心建设為(wèi)使命的市场化母基金。基金目标规模300亿元人民(mín)币，首期规模65.2亿元人民(mín)币。截至目前，已投资签约子基金超过40支，子基金签约总规模超过700亿元，穿透已投项目超过700个。已上市企业达到24家，其中科(kē)创板14家。